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亚电科技是半导体晶圆制造行业湿法制程设备商, 专注于晶圆前道湿法刻蚀清洗技术, 是国内首批推进半导体高端设备国产化的企业之一，目前公司在江苏无锡和海外设立了研发基地。 亚电的核心产品包括8吋、12吋槽式/单片湿法刻蚀清洗设备，作为一家拥有自主知识产权的高新技术企业，所有核心技术均已申请发明专利。通过多年的技术研发和积累，亚电通过多样化、个性化的一触即发下载的解决方案致力于为客户提供更有竞争力的产品和服务。 为便于第一时间响应客户需求，公司在全国各重点城市设有售后团队。  |
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一触即发下载的文化
使命
企业愿景
价值观
为客户提供更有价值的产品和服务
成为领先的中国半导体湿法制程设备商
以产品为中心：专注、品质、成本、极致、快
客户第一：快速响应，解决问题，客户立场，赢得客户信赖
团队合作：实事求是，诚信敬业，自我批判
使命必达：艰苦奋斗，狼性的战斗力，高效的执行力
| 设备型号： | df-3000b |
| 设备类型： | cassette less/type |
| 晶圆尺寸： | 300mm |
| 设备配置： | 8~12 个槽体, 2~6 个robot（可定制） |
| 可搭载先进超声波、兆声波 | |
| 槽体过温保护, 各module配置漏液传感器 | |
| 多级wafer保护措施 | |
| 化学液ccss or lcss supply | |
| 自动换酸, 自动补液、配液( 可兼容多种浓度配比) | |
| 先进marangoni干燥 | |
| 加热控制, 浓度控制, 流量控制, 压力控制 | |
| 化学液/水, 直排&回收 | |
| 可靠性能： | uptime≥98% breakage≤1/100000 |
| mtbf≥650 hours mttr≤3 hours | |
| 软件控制： | pc plc gui 控制, 支持schedule、eap、fdc等功能 |
| 设备型号： | fy-3000s |
| 晶圆尺寸： | 300mm |
| 腔 体： | 4~24 个腔体（可定制） |
| vacuum or grip方式 | |
| 4~5 个dispenser，2~3种化学液 | |
| 排风分离：酸，碱，有机化学液分开排放 | |
| e f e m ： | 2 or 4 smif/foup, 1 index robot, 1or 2wtr |
| 化学药液： | 支持ccss / lcss supply |
| 化学液泵循环 | |
| 加热控制, 浓度控制, 流量控制, 压力控制 | |
| 化学液/水, 直排&回收 | |
| 配 置： | 离子发生器、臭氧发生器、高清摄像头（可选） |
| 可靠性能： | uptime≥98% breakage≤1/100000 |
| mtbf≥500 hours mttr≤3 hours | |
| 软件控制： | pc plc gui 控制, 支持eap、fdc等功能 |
软件著作权
专利
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商标